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產品類別:精密半導體清洗設備
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產品功能:
◆采用一套多臂氣動機械手傳動,定位精準,效率高。
◆人機界面,PLC程序控制,觸摸屏操作。
◆水系型清洗劑、DI水、IPA清洗干燥。
◆間接式導熱油加熱方式,全自動IPA檢測、滅火裝置。
◆機架及全封閉外罩HEPA高效空氣過濾器,防止二次污染。
◆采用多種清洗頻率清洗設備:40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
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